Однозонная трубчатая печь 1500 ℃ использует стержень из карбида кремния в качестве нагревательного элемента, обеспечивая номинальную температуру 1400 ℃ и максимальную температуру 1450 ℃. С электронным регулятором температуры Yudian и термопарой S-типа осуществляется контроль температуры с помощью 30 программируемых сегментов с точностью контроля температуры ±1 ℃. С набором фланцев из нержавеющей стали 316 L с открытыми быстроразъемными соединениями, которые используют технологию двухкольцевого уплотнения, оборудование может применяться в различных экспериментальных средах, таких как эксперименты по химическому осаждению из газовой фазы, подготовка фосфора, спекание и покрытие подложки в вакууме или атмосфере.