يعتمد فرن الأنبوب أحادي المنطقة 1500 درجة مئوية على قضيب كربيد السيليكون كعنصر تسخين، مما يوفر درجة حرارة مقدرة تبلغ 1400 درجة مئوية ودرجة حرارة قصوى تبلغ 1450 درجة مئوية. مع وحدة التحكم في درجة الحرارة الإلكترونية من نوع Yudian والحرارة من النوع S، يتم تحقيق التحكم في درجة الحرارة من خلال 30 جزءًا قابلًا للبرمجة بدقة تحكم في درجة الحرارة تبلغ ±1 درجة مئوية. مع مجموعة من الشفاه السريعة المفتوحة من الفولاذ المقاوم للصدأ 316 لتر والتي تعتمد على تقنية الختم بحلقة مزدوجة، يمكن تطبيق المعدات على بيئات تجريبية مختلفة مثل تجربة CVD وإعداد الفوسفور والتلبيد وطلاء الركيزة في الفراغ أو الغلاف الجوي.